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申请/专利权人：滁州捷泰新能源科技有限公司
摘要：本发明公开了一种提升降温速率的LPCVD炉体结构，包括：炉架组件，若干炉管插接于所述炉架组件的内部并呈上下布置；若干水冷盘安装于所述炉架组件的内部并与若干炉管上下间隔布置；其中，所述水冷盘包括呈多级S型布置的冷水管道，在冷水管道的尾端连接有呈多级S型布置且与冷水管道外侧贴合用于温度交换中和的回流管道，冷水管道的进水端连接有与回流管道一侧若干转折处连通且用于补充低温液体的补位管道。本发明通过在上下相邻两层炉管之间增设水冷盘，可有效隔绝每层炉管之间的相互热影响，同时通过水冷盘的冷却可提升每层炉管的降温效果，另外有效保证水冷盘各个区域内部流动的冷却水处于相对平均的低温状态。
主权项：1.一种提升降温速率的LPCVD炉体结构，其特征在于，包括：炉架组件（100）；若干炉管（200），插接于所述炉架组件（100）的内部并呈上下布置；若干水冷盘（300），安装于所述炉架组件（100）的内部并与若干炉管（200）上下间隔布置；其中，所述水冷盘（300）包括呈多级S型布置的冷水管道（301），在冷水管道（301）的尾端连接有呈多级S型布置且与冷水管道（301）外侧贴合用于温度交换中和的回流管道（302），冷水管道（301）的进水端连接有与回流管道（302）一侧若干转折处连通，且用于补充低温液体的补位管道（303），所述补位管道（303）包括侧边导管（3031）、在侧边导管（3031）尾端连接的延伸进入回流管道（302）尾端的弯道管（3032）以及侧边导管（3031）一侧安装的用于引导低温液体沿回流管道（302）内液体流动方向汇合的分支管（3033）。
全文数据：
权利要求：
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