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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，特别涉及一种不锈钢炉管以及LPCVD设备。该不锈钢炉管包括不锈钢管体，不锈钢管体的至少内壁表面设有过渡层，过渡层的热膨胀系数介于不锈钢管体的热膨胀系数和多晶硅的热膨胀系数之间；位于不锈钢管体的内壁表面的过渡层中，过渡层背离不锈钢管体的表面用于形成沉积区域。不锈钢炉管在使用时，多晶硅会沉积在位于不锈钢管体的内壁表面的过渡层中背离不锈钢管体的表面，并形成多晶硅层。多晶硅与不锈钢管体的热膨胀系数的差异较大，过渡层的热膨胀系数介于多晶硅的热膨胀系数和不锈钢管体的热膨胀系数之间，可以延缓过渡层的脱落，避免不锈钢管体的破裂，以及避免不锈钢炉管出现掉渣，影响衬底外观及钝化质量。
主权项：1.一种不锈钢炉管，其特征在于，包括不锈钢管体10，所述不锈钢管体10的至少内壁表面设有过渡层11，所述过渡层11的热膨胀系数介于所述不锈钢管体10的热膨胀系数和多晶硅的热膨胀系数之间；位于所述不锈钢管体10的内壁表面的所述过渡层11中，所述过渡层11背离所述不锈钢管体10的表面用于形成沉积区域。
全文数据：
权利要求：
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