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一种集成电路物理版图双重曝光中的奇数几何内环检查方法 

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申请/专利权人:成都华大九天科技有限公司

摘要:本发明提供了一种集成电路物理版图双重曝光中的奇数几何内环检查方法,包括以下步骤:确定待二分着色的图形层以及对该图形层进行间距检查的结果层;根据间距检查结果,建立图形之间的拓扑连接关系,并根据所述拓扑连接关系进行极大连通子图的划分;对所述极大连通子图进行二分着色并标记着色冲突的极大连通子图;寻找并删除所述标记着色冲突的极大连通子图中的所有的割点和桥,得到双连通分量;确定所述双连通分量包含的所有几何内环;判断所述几何内环的奇偶性,输出所有奇数环。本发明可以帮助设计人员快速定位出版图中引起着色冲突的最小区域,加快设计流程。

主权项:1.一种集成电路物理版图双重曝光中的奇数几何内环检查方法,包括以下步骤:确定待二分着色的图形层以及对该图形层进行间距检查的结果层;根据间距检查结果,建立图形之间的拓扑连接关系,并根据所述拓扑连接关系进行极大连通子图的划分;对所述极大连通子图进行二分着色并标记着色冲突的极大连通子图;寻找并删除所述标记着色冲突的极大连通子图中的所有的割点和桥,得到双连通分量;确定所述双连通分量包含的所有几何内环;判断所述几何内环的奇偶性,输出所有奇数环;所述几何内环,是指在几何上内部不包含其他更小的环的环;所述确定所述双连通分量包含的所有几何内环的步骤,包括:对每个双连通分量,首先建立双连通分量中所有边之间的交叉关系,并据此构建这些边的极大不相交子集以形成新的双连通分量,其中新的双连通分量中不包含任何交叉关系;然后对新的双连通分量中的所有边,按照顺时针方向绕着顶点进行排序,同时将每条边拆分成两条相反方向的有向边,构建该双连通分量所对应的半边图;对半边图进行遍历,得到该双连通分量所包含的所有几何环,其中包含多个逆时针的内环和一个顺时针的外环;根据逆时针的环面积为负、顺时针的环面积为正,根据环的面积正负来删除外环。

全文数据:

权利要求:

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