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申请/专利权人：深圳市华高自动化设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多个Wafer上料装置，设置便于定位组装的十字平台底座；包括：移动平台，滑动连接于所述十字平台底座的上侧，且移动平台的外表面安装有线路链，并且移动平台的上表面安装有支撑座，同时支撑座的上表面安装有固定板；主动轮，转动连接于所述固定板的外表面左侧，且主动轮的外表面啮合连接有输送带。该多个Wafer上料装置，设置有十字平台底座，并通过组装的移动平台控制支撑座平行移动，并通过组装的线路链，减少线路的外置，且组装的支撑座上侧安装的固定板，可配合主动轮和输送带的使用，控制晶圆支撑板形成旋转，从而将定位组装的晶圆环，形成自动旋转并切换不同颜色芯片，可提高固晶机的通用性和灵活性。
主权项：1.一种多个Wafer上料装置，设置便于定位组装的十字平台底座1；其特征在于，包括：移动平台2，滑动连接于所述十字平台底座1的上侧，且移动平台2的外表面安装有线路链3，并且移动平台2的上表面安装有支撑座4，同时支撑座4的上表面安装有固定板5；主动轮6，转动连接于所述固定板5的外表面左侧，且主动轮6的外表面啮合连接有输送带7，并且输送带7的外表面贴合连接有张紧轮8，并在张紧轮8的外表面转动安装有移动座9，同时移动座9的外表面连接有松紧座10，并将移动座9和松紧座10稳定的安装在固定板5的外表面左侧；晶圆支撑板11，转动连接于所述固定板5的上表面，且晶圆支撑板11的外表面安装有接触片12，并且接触片12的外表面设置有信号控制器13，并将信号控制器13安装在固定板5的外表面左侧，同时晶圆支撑板11的内表面下侧嵌套连接有限位轮14，且限位轮14限位转动连接在固定板5的上表面，并且晶圆支撑板11的上表面开设有通孔15，同时通孔15的边缘上侧安装有晶圆环16。
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百度查询： 深圳市华高自动化设备有限公司 一种多个Wafer上料装置
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