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摘要:本实用新型公开了一种多个Wafer上料装置,设置便于定位组装的十字平台底座;包括:移动平台,滑动连接于所述十字平台底座的上侧,且移动平台的外表面安装有线路链,并且移动平台的上表面安装有支撑座,同时支撑座的上表面安装有固定板;主动轮,转动连接于所述固定板的外表面左侧,且主动轮的外表面啮合连接有输送带。该多个Wafer上料装置,设置有十字平台底座,并通过组装的移动平台控制支撑座平行移动,并通过组装的线路链,减少线路的外置,且组装的支撑座上侧安装的固定板,可配合主动轮和输送带的使用,控制晶圆支撑板形成旋转,从而将定位组装的晶圆环,形成自动旋转并切换不同颜色芯片,可提高固晶机的通用性和灵活性。
主权项:1.一种多个Wafer上料装置,设置便于定位组装的十字平台底座1;其特征在于,包括:移动平台2,滑动连接于所述十字平台底座1的上侧,且移动平台2的外表面安装有线路链3,并且移动平台2的上表面安装有支撑座4,同时支撑座4的上表面安装有固定板5;主动轮6,转动连接于所述固定板5的外表面左侧,且主动轮6的外表面啮合连接有输送带7,并且输送带7的外表面贴合连接有张紧轮8,并在张紧轮8的外表面转动安装有移动座9,同时移动座9的外表面连接有松紧座10,并将移动座9和松紧座10稳定的安装在固定板5的外表面左侧;晶圆支撑板11,转动连接于所述固定板5的上表面,且晶圆支撑板11的外表面安装有接触片12,并且接触片12的外表面设置有信号控制器13,并将信号控制器13安装在固定板5的外表面左侧,同时晶圆支撑板11的内表面下侧嵌套连接有限位轮14,且限位轮14限位转动连接在固定板5的上表面,并且晶圆支撑板11的上表面开设有通孔15,同时通孔15的边缘上侧安装有晶圆环16。
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