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申请/专利权人：株式会社力森诺科
摘要：提供可以制造维持氮化铝粒子的高导热性，耐湿性优异，且抑制了凝集的含有硅的氧化物被覆氮化铝粒子的含有硅的氧化物被覆氮化铝粒子的制造方法。一种含有硅的氧化物被覆氮化铝粒子的制造方法，是具备氮化铝粒子、和覆盖上述氮化铝粒子的表面的含有硅的氧化物被膜的含有硅的氧化物被覆氮化铝粒子的制造方法，其具有下述工序：使包含特定的结构的有机硅化合物蒸镀在上述氮化铝粒子的表面，获得被有机硅化合物覆盖了的氮化铝粒子的第1工序；以及将被上述有机硅化合物覆盖了的氮化铝粒子在300℃以上且小于1000℃的温度下进行加热的第2工序，上述第1工序在氮气气氛下进行，上述氮气气氛中的上述有机硅化合物的分压为2.6×102～3.9×103Pa。
主权项：1.一种含有硅的氧化物被覆氮化铝粒子的制造方法，所述含有硅的氧化物被覆氮化铝粒子具备氮化铝粒子、和覆盖所述氮化铝粒子的表面的含有硅的氧化物被膜，所述制造方法具有下述工序：将包含下述式1所示的结构的有机硅化合物蒸镀在所述氮化铝粒子的表面，获得被有机硅化合物覆盖了的所述氮化铝粒子的第1工序；以及将所述被有机硅化合物覆盖了的所述氮化铝粒子在300℃以上且小于1000℃的温度下进行加热的第2工序，所述第1工序在氮气气氛下进行，所述氮气气氛中的所述有机硅化合物的分压为2.6×102～3.9×103Pa， 在式1中，R为碳原子数1～4的烷基。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社力森诺科 含有硅的氧化物被覆氮化铝粒子的制造方法
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