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申请/专利权人：四川仁寿旌凯科技有限公司

摘要：本发明公开了一种用于晶圆清洗的槽体整体结构，包括洗涤槽，洗涤槽的内侧设置有外槽，外槽的内侧设置有内槽，内槽内设置有用于装载晶圆的晶圆盒，内槽的内侧底部安装有支撑架，晶圆盒固定安装于支撑架上，内槽的下方设置有超声波槽，外槽上方槽口处设置有两个上盖板，所述进液管由外向内依次贯穿外槽和内槽，所述第一排液管与内槽连通，所述第二排液管与外槽连通；本发明对晶圆的清洗效果好，结构紧凑，对洗涤槽内部安装空间进行了合理分配，在实际生产中洗涤槽体积较小，节约了空间占用，开关盖可以适应安装空间狭小的安装环境，通过设置支撑座对外槽进行支撑，可以对槽体位置进行调整。

主权项：1.一种用于晶圆清洗的槽体整体结构，其特征在于，包括洗涤槽1，所述洗涤槽1的内侧设置有外槽3，所述外槽3的内侧设置有内槽4，所述内槽4内设置有用于装载晶圆的晶圆盒14，所述晶圆盒14的上、下端均设有开口，所述内槽4的内侧底部安装有支撑架17，所述晶圆盒14固定安装于支撑架17上，所述内槽4的下方设置有超声波槽5使得内槽4底部延伸至超声波槽5内与清水直接接触，所述外槽3上方槽口处设置有两个上盖板2，所述洗涤槽1的一侧槽壁处安装有进液管11、第一排液管12和第二排液管13，所述进液管11由外向内依次贯穿外槽3和内槽4，所述第一排液管12与内槽4连通，所述第二排液管13与外槽3连通；所述洗涤槽1的两个对称内壁上均固定安装有两个支撑座9，所述支撑座9靠近外槽3一侧开设有支撑圆孔，所述外槽3的两个对称外壁上均固定连接有两个固定杆31，所述外槽3两侧外壁上的固定杆31分别安装于洗涤槽1内壁上支撑座9的支撑圆孔内；所述支撑座9包括定位块91、焊接块92、支撑块93和顶盖94，所述支撑块93设置于定位块91的上表面，所述顶盖94设置于支撑块93的上表面中部，所述焊接块92与定位块91之间通过两个第一螺栓95固定连接，所述定位块91和支撑块93之间通过两个第二螺栓96固定连接，所述支撑块93和顶盖94之间通过两个螺钉97固定连接，所述定位块91包括纵板911和横板912，所述横板912固定连接于纵板911的顶部，且所述横板912与纵板911相互垂直，所述焊接块92的上表面与横板912的底面紧密接触，所述支撑块93上表面开设有一个下半圆槽931，所述下半圆槽931位于该上表面的一侧边缘中部，所述支撑块93上表面还开设有两个螺栓孔932，所述螺栓孔932为条形孔，所述顶盖94上开设有一个上半圆槽941，所述上半圆槽941位于顶盖94底面的一侧边缘中部，所述上半圆槽941的半径与下半圆槽931的半径相等，所述上半圆槽941与下半圆槽931上、下对应并围合形成圆形槽口。

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