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摘要：本发明提供一种多线TRL校准件的制备方法及多线TRL校准件。该方法包括：多线TRL校准件包括一个直通、与直通的横截面相同且不同长度的多个传输线以及反射，方法包括：根据衬底参数和金属参数，得到传输线横截面尺寸；根据传输线横截面尺寸，确定多个不同长度的传输线以及确定开路的横截面尺寸或者短路的横截面尺寸；进行半导体工艺加工，得到校准件；对校准件中的直通、传输线和反射进行参数标定，得到多线TRL校准件。本发明能够解决了目前国内没有多线TRL校准件的制备方式导致缺乏多线TRL校准件的问题。

主权项：1.一种多线TRL校准件的制备方法，其特征在于，多线TRL校准件包括一个直通、与所述直通的横截面相同且不同长度的多个传输线以及反射，所述反射包括两个开路或者两个短路，所述多线TRL校准件的制备方法包括：获取衬底参数和所述衬底上设置的金属的参数，根据所述衬底参数和所述金属参数，得到传输线横截面尺寸，所述衬底参数包括衬底厚度和衬底介电常数，所述金属参数包括金属的电导率和金属厚度；根据所述传输线横截面尺寸，确定多个不同长度的传输线；根据所述传输线横截面尺寸，确定开路的横截面尺寸或者短路的横截面尺寸；根据所述多个不同长度的传输线、所述开路的横截面尺寸或者所述短路的横截面尺寸进行半导体工艺加工，得到校准件；对所述校准件中的直通、传输线和反射进行参数标定，得到多线TRL校准件；在所述获取衬底参数和所述衬底上设置的金属的参数，根据所述衬底参数和所述金属参数，得到传输线横截面尺寸之后，还包括：当所述横截面尺寸满足预设校准件频率要求时，对所述横截面尺寸进行优化，得到最优横截面尺寸；基于所述最优横截面尺寸设置多组传输线，确定所述多组传输线中特征阻抗与预设阻抗值最接近的目标传输线；判断所述横截面尺寸满足预设校准件频率要求的方法，包括：根据所述横截面尺寸计算校准件频率；当所述校准件频率大于或等于所述预设校准件频率时，确定所述横截面尺寸满足预设校准件频率要求;所述根据所述横截面尺寸计算校准件频率，包括：根据计算校准件频率；其中，表示校准件频率，表示中心导体与对应地板的间距，表示中心导体的宽度，表示空气磁导率，表示空气的介电常数，表示衬底介电常数，表示衬底厚度。

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百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 多线TRL校准件的制备方法及多线TRL校准件