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申请/专利权人：江苏君华特种高分子材料股份有限公司;山东君昊高性能聚合物有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术，具体涉及一种用于PEEK棒材的表面缺陷检测设备及其工作方法；本发明提供了一种用于PEEK棒材的表面缺陷检测设备，包括：限位检测件，其铰接在工作台内；其中，棒材水平放置在工作台上后，限位检测件向上翻转闭合，至棒材外壁与限位检测件的顶部内壁抵接；以及限位检测件的顶部适于向棒材外壁吹出压缩空气，并获取棒材外壁与限位检测件的抵接处的气体泄漏信息，进而判断此处的棒材外壁缺陷大小是否小于缺陷预设值。通过限位检测件的设置，在棒材与限位检测件抵接时，检测棒材外壁与切割钢线的接触处是否光滑，避免了切割时造成切割后的棒材厚度误差过大，提高了棒材切割的良品率。
主权项：1.一种用于PEEK棒材的表面缺陷检测设备，其特征在于，包括：支撑底板（3），其上固定有一工作台（4），所述工作台（4）适于限位棒材；限位检测件（5），其铰接在所述工作台（4）内；其中棒材水平放置在工作台（4）上后，所述限位检测件（5）向上翻转闭合至棒材外壁与限位检测件（5）的顶部内壁抵接；以及所述限位检测件（5）的顶部适于向棒材外壁吹出压缩空气，并获取棒材外壁与限位检测件（5）的抵接处的气压信号值，进而判断棒材此处的外壁缺陷大小是否小于缺陷预设值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏君华特种高分子材料股份有限公司 山东君昊高性能聚合物有限公司 用于PEEK棒材的表面缺陷检测设备及其工作方法
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