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申请/专利权人：山西中来光能电池科技有限公司
摘要：本发明提供了一种激光诱导双面局域隧穿氧化钝化电池及其制备方法，包括硅片衬底、正背面氮化硅层、正背面金属电极，硅片衬底正面由内至外依次设置有正面隧穿氧化层和p+poly层，p+poly层表面形成有间隔阵列的正面LIO刻蚀凹槽；背面由内至外依次设置有背面隧穿氧化层和n+poly层，n+poly层表面形成有间隔阵列的背面LIO刻蚀凹槽。本发明基于LIO技术在电池正面p+poly非栅线区域进行poly移除，在正面也可以经过简单工序使用TOPCon钝化结构，显著提高开路电压Voc，二次利用LIO技术在电池背面n+poly非栅线区域进行poly减薄，减少寄生光吸收，提升短路电流Isc，提高电池效率。
主权项：1.一种激光诱导双面局域隧穿氧化钝化电池，包括硅片衬底、正背面的金属电极，其特征在于，所述硅片衬底的正面由内至外依次设置有正面隧穿氧化层和p+poly层，所述p+poly层表面形成有间隔阵列的正面LIO刻蚀凹槽；所述硅片衬底的背面由内至外依次设置有背面隧穿氧化层和n+poly层，所述n+poly层表面形成有间隔阵列的背面LIO刻蚀凹槽，所述硅片衬底的正、背面最外层为氮化硅层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山西中来光能电池科技有限公司 一种激光诱导双面局域隧穿氧化钝化电池及其制备方法
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