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申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
摘要：本发明提供一种全氟烷基对苯甲酸盐、包含其的蚀刻液、及其制备方法与应用。所述全氟烷基对苯甲酸盐的烷基为碳原子数为8～12的直链烷基，盐为钠、钾或铵盐。本发明还公开了一种蚀刻液，包括重量配比如下的各组分：氢氟酸5‑15份，所述全氟烷基对苯甲酸盐0.5‑5份，去离子水75‑90份，溶剂2‑10份。本发明全氟烷基对苯甲酸盐具有强烈疏水性，可向狭窄空间的疏水表面集中，吸附在Si表面，含有所述全氟烷基对苯甲酸盐的蚀刻液能实现狭缝中不同厚度纳米级SiO2层的均匀蚀刻。
主权项：1.一种全氟烷基对苯甲酸盐，其特征在于，其结构式为式X，其中N为C8-12的直链烷基，M为钠、钾或铵；
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百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种全氟烷基对苯甲酸盐、包含其的蚀刻液、及其制备方法与应用
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