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申请/专利权人：西湖仪器(杭州)技术有限公司
摘要：本发明提供一种碳化硅晶锭上下料轨道系统，包括储料装置、设于储料装置一侧的运输装置，所述储料装置包括依次交错设置的若干第一储料板以及若干第二储料板，所述第一储料板与第二储料板结构相同，且若干第一储料板可同步升降，若干第二储料板可同步升降；所述运输装置包括可升降设置的料架、设于料架上料端的检测组件，所述料架的出料端与若干第一储料板、若干第二储料板均呈对应设置，以使检测组件对晶锭的高度进行检测后，料架将晶锭运输至对应的第一储料板或第二储料板处；本发明提高碳化硅晶锭上下料的便捷。
主权项：1.一种碳化硅晶锭上下料轨道系统，其特征在于：包括储料装置、设于储料装置一侧的运输装置，所述储料装置包括依次交错设置的若干第一储料板1以及若干第二储料板2，所述第一储料板1与第二储料板2结构相同，且若干第一储料板1可同步升降，若干第二储料板2可同步升降；所述运输装置包括可升降设置的料架3、设于料架3上料端的检测组件，所述料架3的出料端与若干第一储料板1、若干第二储料板2均呈对应设置，以使检测组件对晶锭的高度进行检测后，料架3将晶锭运输至对应的第一储料板1或第二储料板2处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西湖仪器(杭州)技术有限公司 一种碳化硅晶锭上下料轨道系统
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