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申请/专利权人：山东强茂电子科技有限公司
申请日：2021-07-15
公开（公告）日：2021-11-26
公开（公告）号：CN214898360U
专利技术分类：..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要：本实用新型提供了一种新型晶圆晶舟。其构造为：在承载平面的上端边缘固定连接有若干长方体立柱，在相对的长方体立柱之间固定连接有连接杆，在长方体立柱的内侧具有倒角，承载平面、长方体立柱、连接杆均为石英材质。本实用新型将垂直立柱由原来的圆柱体，改为长方体立柱，可能接触到晶片的位置做了倒圆角处理，增了垂直立柱的强度，防止1200℃高温下发生变形；为了防止在转运过程中晶片侧滑，在加工时表面做了磨砂处理。在使用寿命方面：在无外力撞击及人为磕碰，1200℃高温制程状况下，碳化硅材质明显要优于石英材质；在维护费用方面：一旦发生破损，需要委外维修的维护费用，石英材质明显要优于碳化硅材质。
专利权项：1.新型晶圆晶舟，其特征在于包括承载平面1，长方体立柱2，连接杆3，倒角4，其中，在承载平面1的上端边缘固定连接有若干长方体立柱2，在相对的长方体立柱2之间固定连接有连接杆3，在长方体立柱2的内侧具有倒角4，承载平面1、长方体立柱2、连接杆3均为石英材质。
百度查询： 山东强茂电子科技有限公司 新型晶圆晶舟
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