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申请/专利权人：深圳市新凯来工业机器有限公司
摘要：本申请涉及工艺处理设备技术领域，尤其涉及到一种进气分流器、进气结构、半导体工艺腔室及半导体设备。该进气分流器包括分流器本体，该分流器本体具有进气端和出气端；分流器本体设置有进气通道，进气通道具有进气口和至少两个出气口。其中，进气口位于分流器本体的进气端，出气口位于分流器本体的出气端；沿进气端指向出气端的方向，进气通道包括至少一级进气单元，每级进气单元包括至少一个进气组件，每个进气组件具有子进气口和至少两个子出气口；任意两级相邻的进气单元之间，前一级进气单元的每个子出气口一一对应地与后一级进气单元中的子进气口连通。该进气分流器可以提高分流进气的分流精度，实现气流分布的精确控制。
主权项：1.一种进气分流器（10），其特征在于，包括：分流器本体（1），所述分流器本体（1）具有进气端（a1）和出气端（a2）；所述分流器本体（1）设置有进气通道（11），所述进气通道（11）具有进气口（b1）和至少两个出气口（b2），所述进气口（b1）位于所述进气端（a1），所述至少两个出气口（b2）位于所述出气端（a2）；沿所述进气端（a1）指向所述出气端（a2）的方向，所述进气通道（11）包括至少一级进气单元（U）；每级所述进气单元（U）包括至少一个进气组件（111），每个所述进气组件（111）具有子进气口（u1）和至少两个子出气口（u2）；沿所述进气端（a1）指向所述出气端（a2）的方向，首级所述进气单元（U）包括一个所述进气组件（111）且所述进气组件（111）的所述子进气口（u1）与所述进气口（b1）连通；末级所述进气单元（U）中，每个所述子出气口（u2）对应与一个所述出气口（b2）连通；任意两级相邻的所述进气单元（U）之间，前一级所述进气单元（U）中的每个所述子出气口（u2）一一对应地与后一级所述进气单元（U）中的所述子进气口（u1）连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市新凯来工业机器有限公司 进气分流器、进气结构、半导体工艺腔室及半导体设备
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