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申请/专利权人：上海馨欧集成微电有限公司
摘要：本申请提供一种声波器件的频率温度系数的补偿方法及声波器件，包括制备声波器件，利用支撑衬底具有增强压电薄膜内目标声波模式的声速‑厚度波长比色散的特性，对声波器件的频率温度系数进行正向补偿或者反向补偿。基于本申请实施例通过利用支撑衬底具有增强压电薄膜内目标声波模式的声速‑厚度波长比色散的特性对频率温度系数进行补偿，既可以保证声表面波器件小尺寸、线宽灵活调整工作频率的优势，并且能够灵活调整器件的频率漂移量，可以用于设计温度高敏感器件或温度不敏感器件。
主权项：1.一种声波器件的频率温度系数的补偿方法，其特征在于，包括：制备声波器件，所述声波器件包括支撑衬底、设置在所述支撑衬底上的压电薄膜和设置在所述压电薄膜上的电极组件；利用所述支撑衬底具有增强所述压电薄膜内目标声波模式的声速-厚度波长比色散的特性，对所述声波器件的频率温度系数进行正向补偿或者反向补偿；所述声速-厚度波长比色散包括I型色散和II型色散；所述I型色散为所述目标声波模式的声速随着压电薄膜厚度与声波波长的比值的减小而减小，所述II型色散为所述目标声波模式的声速随着压电薄膜厚度与声波波长的比值的减小而增大；当所述声波器件的声波波长随温度升高而增大，所述声波器件的频率漂移随温度升高而增大时，利用所述支撑衬底具有增强所述I型色散的特性，对所述声波器件的频率温度系数进行正向补偿；当所述声波器件的声波波长随温度升高而增大，所述声波器件的频率漂移随温度升高而减小时，利用所述支撑衬底具有增强所述II型色散的特性，对所述声波器件的频率温度系数进行反向补偿；其中，所述正向补偿为在温度升高时增大所述声波器件的频率的变化幅度，所述反向补偿为在温度升高时降低所述声波器件的频率的变化幅度。
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权利要求：
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