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一种半导体检测装置 

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申请/专利权人:无锡联发易创科技有限公司

摘要:本实用新型涉及半导体检测设备技术领域,尤其是一种半导体检测装置,包括检测仪、机箱,检测仪设于机箱上,该检测装置还包括设置在机箱上的夹持组件、支撑组件、转动组件和顶升组件,其中,转动组件和顶升组件均位于机箱内侧;所述夹持组件通过支撑组件设于机箱的上侧、检测仪的下侧;所述转动组件和顶升组件均通过支撑组件与夹持组件联接,以驱动夹持组件轴向转动或者轴向位移,通过本实用新型可以实现提高半导体的检测效率。

主权项:1.一种半导体检测装置,包括检测仪、机箱,检测仪设于机箱上,其特征在于:该检测装置还包括设置在机箱上的夹持组件、支撑组件、转动组件和顶升组件,其中,转动组件和顶升组件均位于机箱内侧;所述夹持组件通过支撑组件设于机箱的上侧、检测仪的下侧;所述转动组件和顶升组件均通过支撑组件与夹持组件联接,以驱动夹持组件轴向转动或者轴向位移。

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