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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请涉及陶瓷基板金属化的技术领域，具体涉及一种真空钎焊炉、利用该真空钎焊炉的AMB陶瓷基板覆铜工艺及AMB陶瓷覆铜基板。本申请将工艺和设备配合，真空钎焊炉具备独特的密封结构、脱蜡模块和快冷结构，通过调整钎焊温度850‑950oC、分压压力5×10‑3‑1000Pa、快冷温度250‑450℃，使得AMB陶瓷覆铜基板中活性金属焊料层的焊接空洞率降低，得到全致密焊接层，极大地增加了铜箔与陶瓷基板的剥离强度，提高了热冲击性能。本申请的技术方案提升了产品良率，缩短了生产周期，节约了生产成本和时间成本，这种全新的真空钎焊设备解决方案，使整个制备过程操作简单，可以满足工业化大规模生产需要。
主权项：1.一种真空钎焊炉，其特征在于，所述真空钎焊炉包括炉体（01）、真空系统和脱蜡模块；所述真空系统和所述脱脂模块均与所述炉体（01）连接；所述炉体（01）的前、后均设置有炉门（03），所述炉门（03）内设置有密封胶圈（05）；后炉门内侧向炉内方向依次设置有快冷风机（06）、换热器（08）和风门（09）；所述快冷风机（06）与炉体（01）利用磁流体（07）密封；所述真空系统包括真空管道（10）、真空泵组和真空测量装置；所述真空泵组包括扩散泵（12）、罗茨泵（15）和机械泵（16）；所述真空管道（10）连接所述炉体（01）和高阀（11），所述高阀（11）连接下方扩散泵（12）；两者通过挡板（13）实现开合，且两者中间设置冷阱（14）；所述扩散泵（12）后方设置罗茨泵（15），连接机械泵（16）；所述真空测量装置包括压力表（20）、电阻硅（21）、电离硅（22）、薄膜压力计（23）和气压变送器（24），均并排安装在同一真空管路（10）上；所述脱脂模块包括脱脂管道（30）和脱脂罐（31），炉体（01）下方通过球阀（32）连接后引出所述脱脂管道（30），所述脱脂罐（31）设置于所述脱脂管道（30）后方；所述脱脂罐（30）内设置铜管（33）和翅片（34），通过制冷剂（35）在所述铜管（33）内循环流动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种真空钎焊炉、利用该真空钎焊炉的AMB陶瓷基板覆铜工艺及AMB陶瓷覆铜基板
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