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申请/专利权人：FEI公司
摘要：提供了一种制备用于透射电子显微镜TEM分析的样品的方法。该方法包括对样品进行清洁以去除再沉积层，对清洁后的样品进行成像并且识别样品内感兴趣区域的位置，以及基于样品内感兴趣区域的所识别的位置从样品去除材料。有利地，基于感兴趣区域的所检测的位置来执行样品薄化步骤。该薄化步骤涉及去除不平坦的表面“薄板顶部”并且薄化剩余的块体衬底以去除多余的材料，使得样品的表面与感兴趣区域之间的硅衬底体积具有限定的厚度。
主权项：1.一种制备用于透射电子显微镜TEM分析的样品的方法，所述方法包括：对所述样品进行清洁以去除再沉积层；对清洁后的样品进行成像并且识别所述样品内感兴趣区域的位置；以及基于所述样品内所述感兴趣区域的所识别的位置，从所述样品去除材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 制备用于透射电子显微镜（TEM）分析的样品的方法
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