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半导体净化设备 

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申请/专利权人:苏州净享空净环保有限公司

摘要:本实用新型公开了半导体净化设备,涉及半导体净化技术领域,其技术方案是:包括净化箱,净化箱内部嵌设有过滤板,过滤板与净化箱滑动连接,过滤板内部固定嵌设有过滤网,安装机构,安装机构设于净化箱外侧,安装机构安装于过滤板前后两侧,控制面板,控制面板固定嵌设在净化箱顶部,控制面板设于过滤板一侧,压力传感器,压力传感器固定嵌设在过滤板内部,压力传感器用于感知过滤网的压力,本实用新型的有益效果是:本实用新型极大地提高了对过滤网的更换效率,同时本装置采用带压差装置,让设备在达到预设压差时会自动报警,提示客户更换滤网,另外本装置采用液压杆的方式对过滤网进行更换处理,以更加便于使用者将过滤网取出。

主权项:1.半导体净化设备,其特征在于:包括净化箱1,所述净化箱1内部嵌设有过滤板2,所述过滤板2与净化箱1滑动连接,所述过滤板2内部固定嵌设有过滤网3;安装机构,所述安装机构设于净化箱1外侧,所述安装机构安装于过滤板2前后两侧;控制面板4,所述控制面板4固定嵌设在净化箱1顶部,所述控制面板4设于过滤板2一侧;压力传感器5,所述压力传感器5固定嵌设在过滤板2内部,所述压力传感器5用于感知过滤网3的压力。

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权利要求:

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