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申请/专利权人：上海梭伦信息科技有限公司

摘要：本发明公开了一种基于清洁度测量的接触角测试方法，属于界面化学测试技术领域，包括步骤：采用悬滴法分别测量喷射法非接触式滴液和液滴转移法接触式滴液两种进液系统中的液体的表面张力值；对于上述步骤中液体所测得的表面张力值如果不符合标准值时，则需要清洗不符合要求的那个进液系统并重新装入液体，本发明可以确保喷射法非接触式滴液和液滴转移法接触式液滴的两个进液系统均是清洁的，同时可以确保固体表面是清洁的，从而实现提升接触角测值精度的目的；能够有效解决探针液体和样品表面有机污染物对于接触角测值的影响，从而提高接触角值测试的准确性，为仿生材料、纳米材料、晶圆、半导体、芯片、石油石化行业分析准确的接触角值。

主权项：1.一种基于清洁度测量的接触角测试方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：采用悬滴法分别测量喷射法非接触式滴液和液滴转移法接触式滴液两种进液系统中的液体的表面张力值；S2：对于步骤S1中液体所测得的表面张力值如果不符合标准值时，则需要清洗不符合要求的那个进液系统并重新装入液体，重复步骤S1直到两个进液系统的液体的表面张力值均符合标准值为止；S3：对于步骤S1中两个进液系统的液体均符合标准值时，说明进液系统是清洁的，将接触式滴液的进液系统的针头移动到接触到样品表面，挤出液体多次振荡清洁样品表面后，再吸回到进液系统内。本步骤在固体样品表面随机位置多次测量；S4：采用悬滴法测试接触式液滴的进液系统中清洗样品表面后的液体的表面张力值；S5：对于步骤S4中不符合液体标准值时的，清洗固体样品表面，清洗进液系统，重新装入接触式滴液进液系统的探针液体；S6：采用悬滴法测量接触式滴液进液系统中的液体的表面张力值；S7：对于步骤S6中不符合液体标准值时的，清洗进液系统，重新装入探针液体；S8：采用悬滴法测量接触式滴液进液系统中的液体的表面张力值，否则重复步骤S7，直到所测得的液体的表面张力值符合要求为止；S9：将接触式滴液的进液系统的针头移动到接触到样品表面，挤出液体多次振荡清洁样品表面后，再吸回到进液系统内；S10：采用悬滴法测试接触式液滴的进液系统中清洗样品表面后的液体的表面张力值；S11：在固体样品随机多个位置重复如上步骤S4至步骤S10的操作多次；S12：对于如上步骤S6和步骤S10符合液体标准值时，采用喷射法非接触滴液系统的探针液体，在样品表面形成设置体积的停滴，并采用机器视觉图像识别技术查找液滴轮廓，并使用圆、椭圆、多项式曲线或Young-Laplace法计算得到接触角值；S13：测试结果复核：在喷射法非接触式液滴的液滴位置，使用接触式滴液的进液系统的针头移动到该位置并挤出液体多次振荡清洁，再吸回进液系统内，用悬滴法测试接触式滴液的进液系统内液体的表面张力值；S14：对于如上步骤S13中不符合液体表面张力值标准值时，重复如上步骤S5至步骤S10的操作流程；S15：对于如上步骤S13中符合液体表面张力值标准值时，记录下测试得到的接触角值。

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