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一种晶棒切割用定位工装及晶棒切割方法 

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申请/专利权人:山西鼎芯晶体材料有限公司

摘要:本发明属于蓝宝石加工技术领域,公开了一种晶棒切割用定位工装及晶棒切割方法,包括:基座;固定架,设置在所述基座上表面一端,用于承托晶棒;抵推结构,设置在所述基座上表面另一端,用于抵推晶棒前进;夹持定位机构,与所述基座滑动连接,用于对晶棒待切割位置的两侧进行夹持固定;控制系统,用于控制定位工装对晶棒进行自适应夹持定位;所述控制系统包括:第一数据采集模块、第一数据处理模块、第二数据处理模块、第二数据采集模块和分析控制模块。本发明通过根据待切割晶棒的特性预测晶棒的切割尺寸,可以显著提高切割精度和质量;通过准确预测和确定夹持位置和夹持力,减少切割过程中的调整时间,提升整体生产效率。

主权项:1.一种晶棒切割用定位工装,其特征在于,包括:基座100;固定架200,设置在所述基座100上表面一端,用于承托晶棒;抵推结构300,设置在所述基座100上表面另-端,用于抵推晶棒前进;夹持定位机构400,设置在所述固定架200与所述抵推结构300之间,并与所述基座100滑动连接,用于对晶棒待切割位置的两侧进行夹持固定;控制系统,用于控制定位工装对晶棒进行自适应夹持定位;所述控制系统包括:第一数据采集模块,用于采集定位工装的历史训练数据集合,历史训练数据集合包括晶棒综合信息和切割尺寸;第一数据处理模块,用于基于历史训练数据集合,训练预测出切割尺寸的机器学习模型,采集实时的晶棒的综合信息,并输入到训练完成的机器学习模型内预测出切割尺寸;第二数据处理模块,采集历史切割参数,并基于历史训练数据集合和历史切割参数,训练预测出夹持力度的机器学习模型;第二数据采集模块,用于实时采集定位工装的综合影响信息,所述综合影响信息包括夹持力度、振动影响系数和夹持距离;分析控制模块,用于根据综合影响信息生成夹持稳定系数,并根据夹持稳定系数进行分析并生成优化指令。

全文数据:

权利要求:

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