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回焊对应切晶带 

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申请/专利权人:古河电气工业株式会社

摘要:本发明的目的在于提供一种回焊对应切晶用带,其可防止由辐射固化型粘着剂层产生释气,具有优异的耐污染性。一种回焊对应切晶带,其具备基材层和设置于该基材层上的辐射固化型粘着剂层,将硅晶片贴合到上述辐射固化型粘着剂层上后,进行放射线照射,之后在210℃进行10分钟的加热处理,在该加热处理后将上述硅晶片从上述辐射固化型粘着剂层剥离,此时,通过X射线光电子能谱法测定上述硅晶片的贴合面时的碳量为30mol%以下。

主权项:1.一种回焊对应切晶带,其具备基材层和设置于该基材层上的辐射固化型粘着剂层,将硅晶片贴合到所述辐射固化型粘着剂层上后,进行放射线照射,之后在210℃进行10分钟的加热处理,在该加热处理后将所述硅晶片从所述辐射固化型粘着剂层剥离,此时,通过X射线光电子能谱法测定所述硅晶片的贴合面时的碳量为30mol%以下,所述辐射固化型粘着剂层包含光聚合引发剂,所述光聚合引发剂是分子量为500以上的肟酯化合物,所述分子量为500以上的肟酯化合物的混配量在所述辐射固化型粘着剂100质量%中为0.1质量%~10质量%。

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权利要求:

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