龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及集成电路制作技术领域，特别涉及一种气化装置、极紫外光产生方法及等离子体箍缩装置。所述气化装置，用于对等离子体箍缩系统装置中的固体锡进行汽化，气化装置包括供电模块、电磁感应加热模块和承载装置；供电模块与电磁感应加热模块电性连接，承载装置用于承载固体锡；电磁感应加热模块包括加热线圈，加热线圈沿承载装置的轴向方向环绕设置于承载装置，以产生涡流电对固体锡进行加热汽化形成锡气。本发明还提供一种极紫外光产生方法及等离子体箍缩装置。解决了现有的箍缩系统中产生极紫外光过程中对锡进行汽化所产生成本过高的问题。
主权项：1.一种气化装置，用于对等离子体箍缩系统装置中的固体锡进行汽化，其特征在于：所述气化装置包括供电模块、电磁感应加热模块和承载装置；所述供电模块与所述电磁感应加热模块电性连接，所述承载装置用于承载所述固体锡；所述电磁感应加热模块包括加热线圈，所述加热线圈沿所述承载装置的轴向方向环绕设置于所述承载装置，以产生涡流电对固体锡进行加热汽化形成锡气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种气化装置、极紫外光产生方法及等离子体箍缩装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号