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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明涉及一种基于负热膨胀材料的低漂移扫描探针显微镜，包括最下方的底座，耦合在底座上的桥架结构，位于底座之上或桥架结构上方下表面的位移台，设置在底座上方和桥架结构下方之间的样品台、扫描器、探针，样品台和探针相向设置；所述桥架结构的竖向部件以探针为中心对称分布；所述桥架结构的竖向部件用掺杂材料部分替代，所述掺杂材料为反钙钛矿Mn3ZnxLyGe1‑x‑yN，其中L为Si或Cr，0.5≤x≤0.75，L为Si时，0.1≤y≤0.3，L为Cr时0.02≤y≤0.1。本发明制备的低漂移扫描探针显微镜在270K～320K范围内具有低热漂移效果，热漂移量小于10nmK，且低热漂移效果的循环稳定性好。
主权项：1.一种基于负热膨胀材料的低漂移扫描探针显微镜，包括最下方的底座1，耦合在底座1上的桥架结构4，位于底座1之上或桥架结构4上方下表面的位移台2，设置在底座1上方和桥架结构4下方之间的样品台3、扫描器5、探针6，样品台3和探针6相向设置，扫描器5提供探针6和样品之间作相对扫描运动；所述桥架结构4的竖向部件以探针6为中心对称分布；所述桥架结构4的竖向部件中的一部分用掺杂材料替代，所述掺杂材料为反钙钛矿Mn3ZnxLyGe1-x-yN，其中L为Si或Cr，0.5≤x≤0.75，L为Si时，0.1≤y≤0.3，L为Cr时0.02≤y≤0.1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种基于负热膨胀材料的低漂移扫描探针显微镜
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