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申请/专利权人:日本碍子株式会社
摘要:即便使13族元素氮化物单晶基板上的外延生长层薄膜化,也能够将外延生长层的特性维持在较高水平。13族元素氮化物单晶基板2由13族元素氮化物单晶构成,且具有第一主面2a和第二主面2b。13族元素氮化物单晶基板2含有锌作为掺杂成分,第一主面2a的偏角为0.4°以上1.0°以下。
主权项:1.一种13族元素氮化物单晶基板,其由13族元素氮化物单晶构成,且具有第一主面和第二主面,所述13族元素氮化物单晶基板的特征在于,所述13族元素氮化物单晶含有锌作为掺杂成分,所述第一主面的偏角为0.4°以上1.0°以下。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 日本碍子株式会社 13族元素氮化物单晶基板、外延生长层成膜用基板、层叠体以及半导体元件用外延基板
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