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申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司
摘要：本发明提供一种用于晶粒的分选挑拣方法及系统，该方法包括通过将晶粒进行图像扫描，得到第一扫描图档，并确定所有晶粒的坐标位置，再对晶粒进行测试及图像扫描，输出晶粒的测试数据以及第二扫描图档，将第一扫描图档和第二扫描图档合图处理，得到第一目标图档，再将第一目标图档中的特殊标兵晶粒的坐标位置与第一扫描图档的进行比对，若合格，则获取测试数据，后将晶粒进行自动光学检测以及分选，每个工序都需进行合图处理以及特殊标兵晶粒的坐标位置一致性对比，对比合格后，则根据测试数据以及对应的第二坐标位置，挑拣标准晶粒，该方法通过在测试测试、光学检测以及分选前后都进行特殊标兵晶粒的对位，有效防止了晶粒分选挑拣出错问题的出现。
主权项：1.一种用于晶粒的分选挑拣方法，其特征在于，所述方法包括：将晶粒置于阵列内，所述晶粒包括特殊标兵晶粒和标准晶粒，其中，所述标准晶粒均匀分布在所述特殊标兵晶粒周围；对所述晶粒进行图像扫描，输出第一扫描图档，并根据所述第一扫描图档，确定所述特殊标兵晶粒的第一坐标位置以及所述标准晶粒的第二坐标位置；将所述晶粒进行测试，并在测试结束后进行图像扫描，输出所述晶粒的bin值数据以及第二扫描图档；将所述第一扫描图档和所述第二扫描图档合图处理，得到第一目标图档，并获取所述第一目标图档中所述特殊标兵晶粒的第三坐标位置；判断所述第三坐标位置是否与所述第一坐标位置一致；若是，则获取所述bin值数据，并将所述晶粒进行自动光学检测及图像扫描，输出第三扫描图档；将所述第一目标图档与所述第三扫描图档合图处理，得到第二目标图档，并获取所述第二目标图档中所述特殊标兵晶粒的第四坐标位置；判断所述第四坐标位置是否与所述第一坐标位置一致；若是，则将所述晶粒进行分选及图像扫描，并输出第四扫描图档；将所述第二目标图档与所述第四扫描图档合图处理，得到第三目标图档，并获取所述第三目标图档中所述特殊标兵晶粒的第五坐标位置；判断所述第五坐标位置是否与所述第一坐标位置一致；若是，则根据所述bin值数据以及对应的所述第二坐标位置，挑拣所述标准晶粒。
全文数据：
权利要求：
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