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申请/专利权人：杭州广立微电子股份有限公司
摘要：本申请涉及一种半导体机台数据异常检测方法、装置及计算机设备，根据机台样本数据，计算机台样本数据对应的距离相似度矩阵；将机台样本数据输入初始异常检测模型，确定机台样本数据对应的注意力权重矩阵；根据距离相似度矩阵和注意力权重矩阵，确定初始异常检测模型的目标损失函数；根据机台样本数据以及目标损失函数，训练初始异常检测模型，直到目标损失函数收敛到预设数值区间，得到训练好的异常检测模型；获取待检测机台数据；将待检测机台数据输入至训练好的异常检测模型，确定待检测机台数据中的异常数据；基于目标损失函数，能够提高初始异常检测模型的性能；基于训练好的异常检测模型，能够有效提高异常检测的准确性以及可靠性。
主权项：1.一种半导体机台数据异常检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取机台样本数据和初始异常检测模型；根据所述机台样本数据，计算所述机台样本数据对应的距离相似度矩阵；将所述机台样本数据输入所述初始异常检测模型，确定所述机台样本数据对应的注意力权重矩阵；根据所述距离相似度矩阵和所述注意力权重矩阵，确定所述初始异常检测模型的目标损失函数；根据所述机台样本数据以及所述目标损失函数，训练所述初始异常检测模型，直到所述目标损失函数收敛到预设数值区间，得到训练好的异常检测模型；获取待检测机台数据；将所述待检测机台数据输入至所述训练好的异常检测模型，确定所述待检测机台数据中的异常数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州广立微电子股份有限公司 半导体机台数据异常检测方法、装置及计算机设备
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