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一种氧化层厚度的测量方法 

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申请/专利权人:鞍钢股份有限公司

摘要:本发明涉及一种氧化层厚度的测量方法,包括如下步骤:步骤1、样本准备;步骤2、处理好的样本放入电子探针样品室进行分析测试;步骤3、金属元素和氧元素的面扫描分析;步骤4、根据扫描效果选取特征明显的元素的面扫描结果,计算出不规则形状氧化层的面积s,依据氧化层的宽度值计算出其平均厚度d。本发明提供了一种氧化层厚度的测量方法,利用电子探针对样品进行面扫描分析,然后根据特征元素含量的变化精准地描述氧化层的形貌,并对氧化层面积进行计算从而得出氧化层平均厚度,本评价方法准确度高,为氧化行为机理的研究提供了一种更加科学、准确的评价方法。

主权项:1.一种氧化层厚度的测量方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1、样本准备;步骤2、处理好的样本放入电子探针样品室进行分析测试;步骤3、金属元素和氧元素的面扫描分析;步骤4、根据扫描效果选取特征明显的元素的面扫描结果,计算出不规则形状氧化层的面积s,依据氧化层的宽度值计算出其平均厚度d。

全文数据:

权利要求:

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