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申请/专利权人：株式会社尼康
摘要：本发明的加工装置使用来自光源的光对物体的表面进行肋纹加工，且具备：第1光学系统，将通过对来自光源的光进行分支而生成的多个加工光分别从不同的入射方向照射到物体，由此，在物体的表面形成干涉条纹；及第2光学系统，在多个加工光中照射到物体的至少两个加工光之间赋予强度差、相位差及偏振差中的至少一个差，对形成在物体的表面的肋纹的形状进行调整。
主权项：1.一种加工装置，使用来自光源的光对物体的表面进行肋纹加工，且具备：第1光学系统，将通过对来自所述光源的所述光进行分支而生成的多个加工光分别从不同的入射方向照射到所述物体，由此，在所述物体的表面形成干涉条纹；及第2光学系统，在所述多个加工光中照射到所述物体的至少两个加工光之间赋予强度差、相位差及偏振差中的至少一个差，对形成在所述物体的表面的肋纹的形状进行调整。
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