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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本发明涉及一种经掺杂纤锌矿型铝氮化物压电薄膜材料的制备方法，该方法包括下列步骤：将靶材和衬底提供给沉积设备，例如脉冲激光沉积设备或物理气相沉积设备，其中该靶材材料是经掺杂的铝氮化物复合物，其中掺杂元素为稀土元素，优选为钪；通过操作该沉积设备而在该衬底上沉积该靶材材料的第一层，其中被沉积的等离子体颗粒的动能高于第一阈值；通过操作该沉积设备而在该第一层的顶部上沉积该靶材材料的第二层，其中被沉积的等离子体颗粒的动能低于第二阈值，且其中该第一阈值大于该第二阈值。
主权项：1.一种制备经掺杂纤锌矿型铝氮化物压电薄膜材料的方法，该方法包括下列步骤：将靶材和衬底提供给沉积设备，例如脉冲激光沉积设备或物理气相沉积设备，其中所述靶材材料是经掺杂的铝氮化物复合物，其中所述掺杂元素为稀土元素，优选钪；通过操作所述脉冲激光沉积设备而在所述衬底上沉积所述靶材材料的第一层，其中被沉积的所述等离子体颗粒的动能高于第一阈值；以及通过操作所述脉冲激光沉积设备而在所述第一层的顶部上沉积所述靶材材料的第二层，其中被沉积的所述等离子体颗粒的动能低于第二阈值，其特征在于所述第一阈值大于所述第二阈值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 沉积高度掺杂铝氮化物压电材料的方法
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