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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明能够在等离子体处理装置的联锁机构动作时，保护搭载在等离子体处理装置中的电子器件。一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：等离子体处理腔室；配置在等离子体处理腔室内的基座，其具有传热介质流路和空间；配置在基座上的静电卡盘；配置在静电卡盘内的第1加热器元件；配置在空间内的第2加热器元件；配置在空间内的控制电路板，其包括与第1加热器元件和第2加热器元件中的至少任一者电连接的至少一个控制元件；和恢复电路，其电连接在第2加热器元件与至少一个控制元件之间，能够基于空间内的温度对第2加热器元件供给电功率。
主权项：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：等离子体处理腔室；配置在所述等离子体处理腔室内的基座，其具有传热介质流路和空间；配置在所述基座上的静电卡盘；配置在所述静电卡盘内的至少一个第1加热器元件；配置在所述空间内的第1控制电路板，其包括与至少一个所述第1加热器元件电连接的至少一个控制元件；配置在所述空间内的第2控制电路板，其包括与至少一个所述控制元件电连接的至少一个第2加热器元件；和恢复电路，其电连接在至少一个所述控制元件与至少一个所述第2加热器元件之间，包括并联连接的多个电路段，所述多个电路段中的第1电路段包括串联连接的至少一个第1蓄电元件和第1开关元件，所述第1开关元件能够基于所述空间内的温度进行开关动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 等离子体处理装置
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