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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
摘要：本申请适用于晶圆传送控制技术领域，提供了一种防止晶圆阻塞的控制方法、控制器及可读存储介质，该方法包括：实时获取第一晶圆在流水线上的运行情况；基于第一晶圆在流水线上的运行情况，确定第一晶圆在流水线上的最长周转时间所在的目标单元；基于目标单元，确定第二晶圆的等待时间；第二晶圆为在第一晶圆之后流动的晶圆；基于第二晶圆的等待时间，实时控制第二晶圆在晶圆盒或入口单元等待后再流动。本申请能够通过使晶圆在入口单元等待，实现在不影响效率的情况下使晶圆在各单元减少等待。避免过早进入机台，进行不必要的等待，从而降低微粒掉落在晶圆表面的风险，提高产品良率。
主权项：1.一种防止晶圆阻塞的控制方法，其特征在于，包括：实时获取第一晶圆在流水线上的运行情况；基于所述第一晶圆在流水线上的运行情况，确定所述第一晶圆在流水线上的最长周转时间所在的目标单元；基于所述目标单元，确定第二晶圆的等待时间；所述第二晶圆为在所述第一晶圆之后流动的晶圆；基于所述第二晶圆的等待时间，实时控制所述第二晶圆在晶圆盒或入口单元等待后再流动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 防止晶圆阻塞的控制方法、控制器及可读存储介质
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