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用于获得在载体基板上重构的发光二极管的方法 

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申请/专利权人:IMEC非营利协会

摘要:本发明涉及发光二极管LED器件,尤其是微型LEDμLED器件的技术领域。在该领域中,本发明具体提出了一种用于获得在载体基板上重构的一个或多个LED器件的方法。该方法包括:提供硅基半导体基板作为载体基板,为一个或多个LED器件的每一者提供包括LED层的化合物半导体堆叠,分别将SiCN层施加到堆叠和基板;将堆叠粘合到基板,其中被施加到堆叠的SiCN层和被施加到基板的SiCN层相接触;以及在粘合之后,以等于或高于用于从堆叠完成LED器件的处理温度的温度对经粘合的堆叠和基板进行退火,其中所述温度为至少400℃。

主权项:1.一种用于获得在载体基板20上重构的一个或多个发光二极管LED器件的方法10,所述方法10包括:提供11硅基半导体基板作为载体基板20,为所述一个或多个LED器件的每一者提供12包括LED层31的化合物半导体堆叠30,将氮化碳化硅SiCN层32、21分别施加13到所述堆叠30和所述基板20,将所述堆叠30粘合14到所述基板20,其中被施加到所述堆叠30的所述SiCN层32和被施加到所述基板20的所述SiCN层21相接触,在粘合14之后,以等于或高于用于从所述堆叠30完成所述LED器件的处理温度的温度对经粘合的堆叠30和基板20进行退火15,其中所述温度为至少400℃。

全文数据:

权利要求:

百度查询: IMEC非营利协会 用于获得在载体基板上重构的发光二极管的方法

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