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申请/专利权人：杭州暖芯迦电子科技有限公司
摘要：一种微型高密度阵列自由曲面电极，包括基底和若干个电极柱；所述的基底包括焊接面和刺激面；所述的电极柱包括柱头和柱尾；所述的电极柱贯穿基底，柱尾与焊接面呈一个平面，柱头凸出于刺激面。常见的神经刺激电极其电极柱尾部往往设在基底内部，然后再从基底内部引出导线与刺激芯片连接。本发明采用的贯穿式电极结构相较现有结构，在制作上更加方便，适合大批量制作，而且电极柱的柱尾裸露在基底的焊接面，使得刺激芯片的管脚可以和电极柱直接连接，省去了导线，简化了制作工艺。
主权项：1.一种微型高密度阵列自由曲面电极的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S001、根据所需的基底1的刺激面的形状，制作设有对应曲面槽的模具；S002、在模具内填充可图形转移的有机物并且将端面抛平；S003、根据所需的电极柱2的阵列图案制作对应的掩膜板；S004、将掩膜板置于已填充有机物的模具上方，并向下进行曝光处理；S005、移除掩膜板，将模具浸入显影液中洗去多余的有机物，余下的有机物所呈的阵列即是电极柱2所需的阵列；S006、在模具中的有机物空隙中填充基底前驱材料并将模具端面的基底前驱材料抛光，露出有机物阵列；S007、将带有有机物阵列和基底前驱材料的模具进行烧结，获得带有细孔的基底1，且细孔的阵列与所需的电极柱2的阵列相同；S008、根据所需的若干个电极柱2的柱头形成的曲面，制作对应的压具；S009、在基底1的每个细孔中放入电极柱胚体，电极柱胚体从焊接面放入，然后用压具对所有电极柱胚体加压，将所有电极柱胚体挤入细孔；S010、电极柱胚体贯穿基底1后，撤去压具，并对裸露焊接面外的电极柱胚体进行抛光，得到带有贯穿了电极柱2的基底1；S011、将刺激芯片3的管脚与电极柱2的柱尾通过倒装焊一一连接，得到一种微型高密度阵列自由曲面电极。
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权利要求：
百度查询： 杭州暖芯迦电子科技有限公司 一种微型高密度阵列自由曲面电极及其制造方法
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