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微型泵阵列器件及其制备方法 

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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司

摘要:本公开提供一种微型泵阵列器件及其制备方法。该微型泵阵列器件包括:多个微型泵,具有体积可变的泵腔,所述泵腔具有入口以及出口,所述泵腔由相对设置的第一横部、第二横部,以及侧壁环绕形成,所述微型泵阵列器件可通过控制以下条件的至少之一,令流体经第一方向流动:所述入口和所述出口的位置;以及第一流道的形状和第二流道的形状,其中,所述第一流道以及所述第二流道位于横部远离所述泵腔的一侧。该微型泵阵列器件通过对泵腔的出口和入口、流道等参数的设定,可利用流体力学实现流体的定向流动,从而可省去微型泵的开关阀体结构,有利于该微型泵阵列器件的小型化。

主权项:1.一种微型泵阵列器件,其特征在于,包括:多个阵列排布的微型泵,所述微型泵具有体积可变的泵腔,所述泵腔具有入口以及出口,所述泵腔由相对设置的第一横部、第二横部,以及位于所述第一、第二横部之间的侧壁环绕形成,所述微型泵阵列器件通过控制以下条件,令流体经第一方向流动,所述第一方向为自所述入口进入所述泵腔并经所述出口流出:所述入口和所述出口的位置;第一流道以及第二流道位于横部远离所述泵腔的一侧,所述第一流道的一端具有流道入口,另一端和所述入口相连;所述第二流道的一端具有流道出口,另一端和所述出口相连;其中,所述泵腔具有两个所述入口以及一个所述出口,且所述入口、所述出口均位于所述第二横部一侧,所述出口位于两个所述入口之间;所述第一流道以及所述第二流道均位于所述第二横部远离所述泵腔的一侧。

全文数据:

权利要求:

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