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申请/专利权人：江苏中科智芯集成科技有限公司

摘要：本发明公开了一种烤箱内气体控制方法及装置，本发明通过获取芯片材料信息并根据其确定第一控制信息，烤箱能够根据实际需要调整温度、压强和气体含量，从而在烘烤过程中维持精确的环境条件。并根据当前烤箱内的压强和预设温度信息确定烤箱内气体的第二含量，使得气体含量能够随着时间和温度的变化而动态调整，有助于确保烤箱内气体含量与预期值保持一致。这样通过精准控制烤箱内的温度和气体含量，可以提高芯片制造过程的稳定性和可靠性，有助于提高芯片的品质和性能。

主权项：1.一种烤箱内气体控制方法，其特征在于，包括：获取芯片材料信息，并根据所述芯片材料信息确定第一控制信息；其中，所述第一控制信息包括：第一温度、第一压强和烤箱内气体的第一含量；根据所述第一控制信息的参数调整所述烤箱内的初始状态，并实时获取所述烤箱的烘烤时间，当所述烤箱的烘烤时间满足预设时长时，根据当前烤箱内的压强和预设温度信息，确定烤箱内气体的第二含量，所述第二含量是利用理想气体状态方程根据当前烤箱内的压强和预设温度信息计算得到；根据烤箱内气体的第二含量和当前烤箱内的气体含量差值，改变烤箱内的当前气体含量，并确定当前烤箱内的温度为第二温度；当所述第二温度与预设温度信息不相同时，控制烤箱内温度为预设温度信息，并确定改变温度后烤箱内部的气体含量为最终烤箱内的气体含量；所述烤箱内气体为惰性气体；所述根据所述第一控制信息的参数调整所述烤箱内的初始状态，具体为：通过烤箱的进气口向烤箱中充入惰性气体，并通过所述烤箱的出气口排出烤箱内中的气体，其中，所述惰性气体的温度为第一温度；实时获得烤箱内部温度，当所述烤箱内温度为第一温度时，关闭所述烤箱的出气口，并通过所述烤箱的进气口继续向烤箱内充气直至所述烤箱中的压强为第一压强；所述根据烤箱内气体的第二含量和当前烤箱内的气体含量差值，改变烤箱内的当前气体含量，并确定当前烤箱内的温度为第二温度，具体为：判断所述烤箱内气体的第二含量是否大于当前烤箱内的气体含量；若所述烤箱内气体的第二含量大于当前烤箱内的气体含量，则向烤箱内充入气体，以使得烤箱内的气体含量与烤箱内气体的第二含量相同；若所述烤箱内气体的第二含量小于当前烤箱内的气体含量，则对烤箱进行加压，并排出烤箱内气体，以使得烤箱内的气体含量与烤箱内气体的第二含量相同；将当前烤箱内的气体含量调整为第二含量时，检测当前烤箱内的实时温度，得到第二温度。

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