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申请/专利权人：戈芯半导体(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种外延尾气处理装置，包括反应腔室和尾气水处理装置，在反应腔室与尾气水处理装置之间连接有尾气排放管，在所述尾气排放管连接反应腔室的一端外侧设有第一伴热带，在尾气排放管连接尾气水处理装置的一端外侧设有第二伴热带，在尾气排放管内还设置有电加热棒，并且电加热棒位于尾气排放管靠近第一伴热带的一端，利用电加热棒功率大的特点，能够充分对尾气排放管中的气体进行加热，有效避免形成固体硅化合物，提高管道的使用效率，延长管道的维护时间，从而达到提升产能的效果。尾气排放管直径为电加热棒直径的至少3倍，电加热棒在加热尾气排放管内尾气的同时确保尾气能够顺利通过并排出。
主权项：1.一种外延尾气处理装置，包括反应腔室和尾气水处理装置，在反应腔室与尾气水处理装置之间连接有尾气排放管，其特征在于，在所述尾气排放管连接反应腔室的一端外侧设有第一伴热带，在尾气排放管连接尾气水处理装置的一端外侧设有第二伴热带，在第一伴热带与第二伴热带之间的尾气排放管内还设置有电加热棒，并且电加热棒位于尾气排放管靠近第一伴热带的一端，尾气排放管直径为电加热棒直径的至少3倍。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 戈芯半导体(苏州)有限公司 一种外延尾气处理装置
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