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申请/专利权人：淮安捷泰新能源科技有限公司
摘要：本发明公开了一种TOPCon电池的制备方法及TOPCon电池，属于光伏电池技术领域。步骤为：S1、形成减反射结构工序；S2、形成PN结工序；S3、形成钝化接触结构工序；S4、形成硅原子有序排列的钝化接触结构工序；S5、钝化、金属化工序。TOPCon电池，包括N型硅片，N型硅片的正面依次包括硼掺杂单晶硅层和至少一层钝化层，N型硅片的背面包括遂穿氧化层、硅原子有序排列的磷掺杂多晶硅层和至少一层钝化层，其中，N型硅片的正面和背面均为金字塔状的减反射绒面结构。本发明能有效提高TOPCon电池的转换效率。
主权项：1.一种TOPCon电池的制备方法，其特征在于：步骤为：S1、形成减反射结构工序对N型硅片100进行双面制绒，形成减反射绒面结构；S2、形成PN结工序对N型硅片100的正面进行硼扩散，形成硼掺杂单晶硅层210，与N型硅片100构成PN结；S3、形成钝化接触结构工序在N型硅片100的背面形成钝化接触结构，钝化接触结构包括遂穿氧化层310和磷掺杂Poly层322；S4、形成硅原子有序排列的钝化接触结构工序对步骤S3中的磷掺杂Poly层322进行激光晶化处理，形成硅原子有序排列的磷掺杂多晶硅层321；S5、钝化、金属化工序在N型硅片100正面和背面分别进行钝化膜的沉积形成至少一层钝化层，后经丝网印刷并烧结得到TOPCon电池。
全文数据：
权利要求：
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