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申请/专利权人：常州英诺激光科技有限公司;英诺光伏设备(江苏)有限公司

摘要：本公开提供了一种TOPCon电池的制备方法以及TOPCon电池，其中，该方法包括：对第一加工对象的第一非晶硅层的非金属区域进行激光氧化处理，得到氧化硅层，第一非晶硅层包括本征非晶硅层或者掺杂非晶硅层；在氧化硅层以及第一非晶硅层的金属区域上沉积第二非晶硅层，第二非晶硅层和第一非晶硅层的材质相同；根据第一非晶硅层的材质，采用对应的处理方式，对第一非晶硅层和第二非晶硅层进行处理，得到第一掺杂多晶硅层和第二掺杂多晶硅层，第二掺杂多晶硅层表面附着有磷硅玻璃层；对磷硅玻璃层的非金属区域进行激光改性处理，并进行清洗处理，去除磷硅玻璃层、第二掺杂多晶硅层的非金属区域和氧化硅层；制备钝化层并进行印刷烧结处理，得到制备好的TOPCon电池。

主权项：1.一种TOPCon电池的制备方法，其特征在于，所述方法包括：对第一加工对象的第一非晶硅层的非金属区域进行激光氧化处理，得到氧化硅层，所述第一加工对象包括硅基底，所述硅基底的第一面制备有硼扩散层，所述硅基底与所述第一面相背的第二面依次制备有隧穿氧化层和所述第一非晶硅层，所述第一非晶硅层包括本征非晶硅层或者掺杂非晶硅层；在所述氧化硅层以及所述第一非晶硅层的金属区域上沉积第二非晶硅层，所述第二非晶硅层和所述第一非晶硅层的材质相同；根据所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层的材质，采用对应的处理方式，对所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层进行处理，得到第一掺杂多晶硅层和第二掺杂多晶硅层，所述第二掺杂多晶硅层表面附着有磷硅玻璃层；对所述磷硅玻璃层的非金属区域进行激光改性处理，得到第二加工对象，并对所述第二加工对象进行清洗处理，去除所述磷硅玻璃层、所述第二掺杂多晶硅层的非金属区域和所述氧化硅层，得到第三加工对象；在所述第三加工对象的相背的第一表面和第二表面上分别制备钝化层，并进行印刷烧结处理，得到制备好的TOPCon电池，所述第三加工对象的第一表面为制备有所述硼扩散层的表面，所述第三加工对象的第二表面为制备有所述第二掺杂多晶硅层的表面。

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