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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本申请实施例提出了分区控温的样品台系统、半导体工艺设备及样品处理方法，样品检测系统设置在真空腔室内，其包括样品台，样品台包括多个独立控温的单元格且多个单元格接触连接；样品台具有用于处理样品的控温平面；温控组件，其包括加热组件和冷却组件；加热组件包括多个独立控制且与单元格一一对应的加热丝，加热丝设置在单元格内；冷却组件用于冷却单元格；以及温度检测组件，其包括用于测量单元格和样品温度的检测器以及用于显示检测器测量值的显示器。本申请的样品台可以分区控温，从而控制与样品台接触的样品上某一区域的温度，有利于实现同一样品上不同区域的不同温度条件下的表征测量，以及实现样品上不同区域温度差别的选区外延。
主权项：1.分区控温的样品台系统，其特征在于，所述样品检测系统设置在真空腔室内，其包括样品台，其包括多个独立控温的单元格且多个所述单元格接触连接；所述样品台具有用于处理样品的控温平面；温控组件，其包括加热组件和冷却组件；所述加热组件包括多个独立控制且与所述单元格一一对应的加热丝，所述加热丝设置在所述单元格内；所述冷却组件用于冷却所述单元格；以及温度检测组件，其包括用于测量所述单元格和所述样品温度的检测器以及用于显示所述检测器测量值的显示器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 分区控温的样品台系统、半导体工艺设备及样品处理方法
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