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申请/专利权人：北京旭灿半导体科技有限公司;东旭科技集团有限公司
摘要：本发明涉及一种碳化钽涂层及其制备方法和应用，包括：将五氯化钽加入无水乙醇中溶解，得醇基钽溶胶；将乙酰丙酮加入醇基钽溶胶，经陈化得第一溶胶凝胶溶液；重复前述步骤，调节几种组分比例，得第二溶胶凝胶溶液；将石墨坩埚浸入第一溶胶凝胶溶液，取出干燥，涂覆多次，得第一石墨坩埚过渡涂层半成品；将第一石墨坩埚过渡涂层半成品浸入第二溶胶凝胶溶液，取出干燥，涂覆多次，得第二石墨坩埚过渡涂层涂层半成品；将第二石墨坩埚过渡涂层涂层半成品高温烧结，得石墨坩埚过渡层碳化钽涂层成品。本发明在TaC涂层与石墨坩埚基底间设置富碳少TaC的过渡层，可有效降低石墨坩埚基底与TaC涂层之间因热膨胀系数差异引起的内应力和微裂纹。
主权项：1.一种碳化钽涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将五氯化钽加入无水乙醇中搅拌溶解，得到醇基钽溶胶；2将乙酰丙酮加入到步骤1得到的醇基钽溶胶中，经陈化获得第一溶胶凝胶溶液；3重复步骤1-2，调节五氯化钽、无水乙醇及乙酰丙酮的比例，获得第二溶胶凝胶溶液；4将石墨坩埚沉浸入步骤2得到的第一溶胶凝胶溶液中，取出后在50～80℃下干燥，重复涂覆多次，获得第一石墨坩埚过渡涂层半成品；5将第一石墨坩埚过渡涂层半成品浸入第二溶胶凝胶溶液中，取出后在50～80℃下干燥，重复涂覆多次，获得第二石墨坩埚过渡涂层涂层半成品；6将步骤5得到的第二石墨坩埚过渡涂层涂层半成品进行高温烧结，得到具有碳化钽涂层的石墨坩埚过渡层碳化钽涂层成品。
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权利要求：
百度查询： 北京旭灿半导体科技有限公司 东旭科技集团有限公司 一种碳化钽涂层及其制备方法和应用
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