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申请/专利权人：北京大学
摘要：本发明公开了一种利用具有多孔阵列结构的软模板制备多孔碳膜透射电镜载网的方法，属于材料领域。本发明的具有多孔阵列结构的碳膜透射电镜载网的制备方法，包括以下步骤：将具有多孔阵列结构的软模板转移至透射电镜载网网格表面，然后在透射电镜载网表面沉积碳膜，去除软模板，即得到所述具有多孔阵列结构的碳膜透射电镜载网。本发明的方法简单易行，可重复度高，并具有普适性；所得碳膜透射电镜载网的网格结构质量优异，具备批量化制备的潜力，同时可直接用于符合透射电镜制样要求的石墨烯电镜载网的制备，后者可用于冷冻电镜单颗粒三维结构解析以及纳米颗粒、单原子的高分辨成像。
主权项：1.一种具有多孔阵列结构的碳膜透射电镜载网的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将具有多孔阵列结构的软模板转移至透射电镜载网网格表面，得到具有多孔阵列结构软模板的透射电镜载网；步骤（1）中，所述具有多孔阵列结构的软模板的制备方法包括如下步骤：在硬质模板表面上制备具有多孔阵列结构的金属软模板或在硬质衬底表面上制备具有多孔阵列结构的光刻胶软模板；将所述具有多孔阵列结构的金属软模板从硬质模板表面剥离或将具有多孔阵列结构的光刻胶软模板从硬质衬底表面剥离；所述硬质模板与金属软模板之间有一层牺牲层，所述牺牲层为偏磷酸钠、氯化钠和氯化钾中的至少一种；所述硬质衬底与光刻胶软模板之间有一层牺牲层，所述牺牲层为非惰性金属；（2）在所述具有多孔阵列结构软模板的透射电镜载网表面沉积碳膜，得到具有多孔阵列结构碳膜的电镜载网网格；（3）去除所述具有多孔阵列结构碳膜的电镜载网网格中的软模板，得到所述具有多孔阵列结构的碳膜透射电镜载网。
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权利要求：
百度查询： 北京大学 一种利用具有多孔阵列结构的软模板制备多孔碳膜透射电镜载网的方法
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