龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本公开内容描述了用于将装载锁定件整合到工厂接口占地面积空间中的装置、系统和方法。用于电子装置制造系统的工厂接口可包括内部空间、第一装载锁定件，和第一工厂接口机器人，内部空间由底部、顶部和多个侧部限定，第一装载锁定件设置在工厂接口的内部空间内，且第一工厂接口机器人设置在工厂接口的内部空间内，其中第一工厂接口机器人构造为在第一组基板载体与第一装载锁定件之间传送基板。
主权项：1.一种用于电子装置制造系统的工厂接口，所述工厂接口包括：内部空间，所述内部空间由底部、顶部和多个侧部限定，其中所述多个侧部包括背侧、右侧和左侧，所述背侧被构造为面向所述电子装置制造系统的传送腔室；装载锁定件，所述装载锁定件设置在所述工厂接口的所述内部空间内，其中所述装载锁定件包括第一门和第二门，所述第一门近似垂直于所述背侧，所述第二门近似平行于所述背侧且可由传送腔室机器人出入；和工厂接口机器人，所述工厂接口机器人设置在所述工厂接口的所述内部空间内，其中所述工厂接口机器人被构造为在一组基板载体与所述装载锁定件之间传送基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于将装载锁定件整合到工厂接口占地面积空间中的系统和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号