龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：安徽国芯光刻技术有限公司
摘要：本发明公开了一种用于光刻机的对准镜头，由三组透镜组和分光镜分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3；第一透镜组G1和第二透镜组G2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组G3和第二透镜组G2构成高倍率镜头，分光镜分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；三组透镜组的参数满足关系式F1F2=B1，F3F2=B2，其中F1为第一透镜组的焦距，F2为第二透镜组的焦距，F3为第三透镜组的焦距，B1为对准标识搜寻镜头的倍率，B2为高倍率镜头的倍率。本发明结构简单，两组镜头共用第一透镜组，结构得到简化，且两组镜头视场完全同轴；保证高分辨率的同时，能够快速搜寻到对准标识。
主权项：1.一种用于光刻机的对准镜头，其特征在于，由三组透镜组和分光镜分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3；第一透镜组G1和第二透镜组G2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组G3和第二透镜组G2构成高倍率镜头，分光镜分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；三组透镜组的参数满足关系式F1F2=B1，F3F2=B2，其中F1为第一透镜组的焦距，F2为第二透镜组的焦距，F3为第三透镜组的焦距，B1为对准标识搜寻镜头的倍率，B2为高倍率镜头的倍率；对准标识搜寻镜头倍率较低但视场大，用于快速搜寻MARK，高倍率镜头视场小但分辨率高，用来识别高精度的MARK及其精确位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽国芯光刻技术有限公司 一种用于光刻机的对准镜头
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号