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一种β-Ga2O3/Lu2O3异质结自供电深紫外探测器及其制备方法 

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申请/专利权人:浙江富乐德石英科技有限公司;浙江理工大学

摘要:本发明公开了一种β‑Ga2O3Lu2O3异质结自供电深紫外探测器及制备方法,依次包括石英衬底,剥离法获得的单晶β‑Ga2O3微米线,位于单晶β‑Ga2O3微米线上的Lu2O3薄膜层,位于Lu2O3薄膜层上的第一测试电极,以及位于单晶β‑Ga2O3微米线上的第二测试电极,所述单晶β‑Ga2O3微米线与Lu2O3薄膜层接触面形成β‑Ga2O3Lu2O3核壳异质结,构成内建电场,以分离光生载流子。本发明的探测器可在0V偏压下工作,具有自供电工作的特点,灵敏度高,响应速度快,可实现对波长小于280nm的深紫外光的有效探测。

主权项:1.一种β-Ga2O3Lu2O3异质结自供电深紫外探测器,其特征在于,该探测器包括石英衬底1、单晶β-Ga2O3微米线2、Lu2O3薄膜层3、第一测试电极4、第二测试电极5。

全文数据:

权利要求:

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