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申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司

摘要：本发明涉及一种半自动晶锭超声波分片机，包括机架，在机架上从左往右依次安装有超声波分离组件和超声波清洗组件；在超声波分离组件和超声波清洗组件上方的机架上设置有水平切换轴组件，在水平切换轴组件上方的一侧设置有超声波平移轴组件。本发明采用输送型可调真空发生器以及柔软型吸盘，可以做到清洗液中的吸附，并且吸附的真空度大小可控。

主权项：1.半自动晶锭超声波分片机，包括机架1，在所述机架1上从左往右依次安装有超声波分离组件3和超声波清洗组件4；其特征在于：所述超声波分离组件3和超声波清洗组件4上方的机架1上设置有水平切换轴组件2，在所述水平切换轴组件2上方的一侧设置有超声波平移轴组件5；所述水平切换轴组件2包括水平切换底板21，在所述水平切换底板21上从左往右依次开设有超声波分离口22和超声波清洗口23，所述超声波分离口22位于超声波分离组件3的正上方，所述超声波清洗口23位于超声波清洗组件4的正上方；在所述超声波分离口22上方的水平切换底板21上设置有第一水平切换滑板25，在所述超声波清洗口23上方的水平切换底板21上设置有第二水平切换滑板26，在所述第一水平切换滑板25和第二水平切换滑板26之间的水平切换底板21上安装有同步丝杆电机组件24，所述同步丝杆电机组件24可同步驱动左右两侧的第一水平切换滑板25和第二水平切换滑板26在前后方向上移动；在所述第一水平切换滑板25上安装有规整吸附组件27，在所述第二水平切换滑板26上安装有晶锭吸附载台28和晶片吸附载台29；所述超声波平移轴组件5包括超声波平移第一直线模组51、超声波平移第二直线模组52和旋转吸附抓取组件53，所述超声波平移第一直线模组51驱动超声波平移第二直线模组52在左右方向上移动，所述超声波平移第二直线模组52驱动旋转吸附抓取组件53在竖直方向上移动；所述旋转吸附抓取组件53从上往下依次包括通过若干个旋转吸附立柱安装在一起的旋转吸附抓取顶板5301和旋转吸附抓取底板5317，在所述旋转吸附抓取顶板5301上的中部安装有旋转气缸5302，所述旋转气缸5302底部的驱动端驱动位于旋转吸附抓取顶板5301下方的驱动盘5303旋转，在所述驱动盘5303上沿着圆周方向开设有若干个弧形的凸轮随动槽，驱动导轨5304内侧顶部的凸轮5305位于上方的所述凸轮随动槽内，所述驱动导轨5304的顶部与旋转吸附抓取顶板5301底部的驱动滑块5306相连接，下方的导轨气缸5307驱动所述驱动导轨5304沿着旋转吸附抓取顶板5301的径向移动，在所述导轨气缸5307的底部安装有旋转吸附抓取夹爪5308，且所述旋转吸附抓取夹爪5308可延伸至旋转吸附抓取底板5317的下方，在所述旋转吸附抓取底板5317的底部中部开设有吸盘杆通孔5320，吸盘杆5319的底部穿过所述吸盘杆通孔5320后并安装有旋转吸附抓取吸盘5321，位于旋转吸附抓取底板5317上的吸盘旋转电机5314驱动下方的所述吸盘杆5319旋转。

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