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申请/专利权人：上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种盖板机构、晶圆清洗装置及晶圆封装设备，晶圆封装设备包括运送装置和晶圆清洗装置，运送装置将装载晶圆的提篮运送至晶圆清洗装置中对晶圆进行清洗，晶圆清洗装置包括清洗槽和盖板机构，盖板机构包括支架、驱动组件、多个传动组件和多个盖板组件，支架固定在清洗槽上，盖板组件固定在清洗槽的开口处边缘，驱动组件和多个传动组件设置在支架上，驱动组件与多个传动组件相连接，盖板组件与传动组件一一对应连接设置，驱动组件同时驱动多个传动组件带动对应的盖板组件同时开启或关闭。本发明的技术方案为清洗槽设计了能够自动开启和关闭的盖板机构，无需人力介入，实现晶圆清洗、封装的自动化，提高了晶圆处理的效率。
主权项：1.一种盖板机构，其特征在于，包括支架、驱动组件、多个传动组件和多个盖板组件，所述驱动组件和所述多个传动组件设置在所述支架上，所述驱动组件与所述多个传动组件相连接，所述盖板组件与所述传动组件一一对应连接设置，所述驱动组件同时驱动所述多个传动组件带动对应的所述盖板组件同时开启或关闭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新阳半导体材料股份有限公司 盖板机构、晶圆清洗装置及晶圆封装设备
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