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申请/专利权人：广州市艾佛光通科技有限公司
摘要：本申请涉及台阶仪技术领域，具体提供了一种晶圆定位对准系统、晶圆定位对准方法及台阶仪，该晶圆定位对准系统包括晶圆中心定位台，其中部具有朝向其中心收缩的收缩槽，收缩槽的槽底与晶圆外周匹配；托台；承载组件；转动组件；升降组件；控制器用于控制升降组件驱动托台上升，以使承载组件移动至待定位晶圆的高度，还用于在承载组件接收待定位晶圆后，控制升降组件驱动托台下降和控制转动组件驱动承载组件转动，直至待定位晶圆被放置到收缩槽的槽底；该装置能够有效地解决由于在对晶圆进行中心定位时需要对晶圆进行多次取放和圆心计算而导致对晶圆进行中心定位的步骤繁琐和晶圆的中心定位效率低的问题。
主权项：1.一种晶圆定位对准系统，应用在台阶仪中，其特征在于，所述晶圆定位对准系统包括：晶圆中心定位台，其中部具有朝向其中心收缩的收缩槽，所述收缩槽的槽底与晶圆外周匹配；托台，位于所述晶圆中心定位台下方；承载组件，转动安装在所述托台上；转动组件，安装在所述托台上且与所述承载组件连接；升降组件，与所述托台连接，用于调节所述托台的高度；控制器，分别与所述承载组件、转动组件和升降组件电性连接，用于控制所述升降组件驱动所述托台上升，以使所述承载组件移动至等待接收待定位晶圆的高度，还用于在所述承载组件接收到所述待定位晶圆后，控制所述升降组件驱动所述托台下降和控制所述转动组件驱动所述承载组件转动，直至所述承载组件顶面与所述收缩槽的槽底平齐。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州市艾佛光通科技有限公司 一种晶圆定位对准系统、晶圆定位对准方法及台阶仪
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