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申请/专利权人：尊芯智能科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于运输晶圆盒的小车，小车行走在晶圆盒存储仓库内的框架上。小车包括基座、走行组件、升降组件、放置平台。放置平台用于放置晶圆盒，放置平台通过升降组件连接于基座上，升降组件用于驱动放置平台相对基座做升降运动。走行组件安装于基座，走行组件包括走行驱动部和多个走行轮，走行轮置于框架上，走行驱动部与至少一个走行轮连接，用于驱动该走行轮转动，并使该转动的走行轮与框架产生滚动摩擦以驱动小车在框架上行走。本实用新型公开了一种在晶圆盒存储仓库内运输晶圆盒的装置，包括上述小车和框架。本实用新型能够有效提高晶圆盒存储仓库因运输装置引起的维护效率或维修效率。
主权项：1.一种用于运输晶圆盒的小车，其特征在于：所述小车用于晶圆盒存储仓库的人工投放口及自动投放口，所述小车行走在晶圆盒存储仓库内的框架上；所述小车包括基座、走行组件、升降组件、放置平台；所述放置平台用于放置晶圆盒，所述放置平台通过升降组件连接于所述基座上，所述升降组件用于驱动所述放置平台相对所述基座做升降运动；所述走行组件安装于所述基座，所述走行组件包括走行驱动部和多个走行轮，所述走行轮置于所述框架上，所述走行驱动部与至少一个所述走行轮连接，用于驱动该所述走行轮转动，并使该转动的所述走行轮与所述框架产生滚动摩擦以驱动所述小车在框架上行走。
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权利要求：
百度查询： 尊芯智能科技(苏州)有限公司 一种用于运输晶圆盒的小车及运输晶圆盒的装置
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