龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括：底座；清洗组件，包括设置在所述底座上的安装板和安装在所述安装板上的至少两个清洗刷，至少两个所述清洗刷之间具有可放置晶圆的间隙，至少两个所述清洗刷可跟随所述安装板在外力作用下可相互靠近或远离，且所述清洗刷可绕自身轴线转动；第一驱动机构，用于驱动至少两个所述清洗刷相对远离或靠近；其中，所述第一驱动机构设置在所述底座上且位于所述清洗组件的一侧。本实用新型的晶圆清洗装置在准确调节清洗刷间距的前提下，减少装置的整体体积。
主权项：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：底座；清洗组件，包括设置在所述底座上的安装板和安装在所述安装板上的至少两个清洗刷，至少两个所述清洗刷之间具有可放置晶圆的间隙，至少两个所述清洗刷可跟随所述安装板在外力作用下可相互靠近或远离，且所述清洗刷可绕自身轴线转动；所述底座上方设有连接杆，所述连接杆和两端安装板连接并带动两端安装板同步平移；第一驱动机构，用于驱动至少两个所述清洗刷相对远离或靠近；所述第一驱动机构包括旋转电机、与所述旋转电机连接的减速器以及连接所述减速器和所述安装板的曲柄，所述曲柄能够将所述旋转电机的旋转运动转换为所述安装板的直线运动；所述晶圆清洗装置还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构安装在所述安装板上，所述第一驱动机构位于所述第二驱动机构和所述底座之间，所述第二驱动机构用于驱动所述清洗刷绕自身轴心线转动；其中，所述第一驱动机构设置在所述底座上且位于所述清洗组件的一侧；所述底座上还设有用于排出晶圆清洗液的排液口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏芯梦半导体设备有限公司 一种晶圆清洗装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号