龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及一种用于在抑制氧化铝膜及氧化硅膜的蚀刻的同时蚀刻钼膜及变性钼膜的蚀刻液组合物及其蚀刻方法，其特征在于，相对于组合物的总重量，所述蚀刻液组合物由0.1至10重量％的无机酸、0.001至5重量％的氧化剂、0.001至3重量％的氟化合物、2至4重量％的pH调节剂、0.0001至2重量％的添加剂、及余量的水构成。
主权项：1.一种用于在抑制氧化铝膜及氧化硅膜的蚀刻的同时蚀刻钼膜及变性钼膜的蚀刻液组合物，其中，所述蚀刻液组合物包括无机酸、氧化剂、氟化合物、pH调节剂、添加剂、及水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： YC化学制品株式会社 灵敏度及图案轮廓改善用化学增幅型正性光刻胶组合物
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号